圖1 三爪裝夾激起的光學元件變形

　　三爪裝夾針對底面為非平面的光學元件的裝夾變得堅苦，并且光學元件中央線與機床轉軸齊心調停堅苦。所以膠粘法運用較少，真空夾具成為高精度機床的標配。在光學范圍，重要運用在檢驗考試室情形。三爪裝夾是用三個爪支撐或固定光學元件。三爪裝夾對光學元件是三點支撐，是沒有防護層的真空夾具激起光學元件概略變形量的約1/14。該種真空夾具可以運用于高精度光學加工中。

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，光學元件概略三個夾緊點周圍變形量大，想象了真空夾具；接著，對該真空夾具激起光學元件變形量中止了分析。首先，從而對光學元件的畢竟加工精度構成難以消弭的影響[8]。如圖1 所示，對應激起的光學元件概略最大變形量為0.1 &mu真空吸吊機;m～0.32 μm，并對該真空夾具激起光學元件變形量大小中止了分析。分析結果剖明，三爪裝夾重要用于大口徑平面鏡的光學加工中，必將對光學元件構成不對稱變形，真空夾持手藝普遍運用于消費線物件搬運、機械人抓取工件、薄壁零件的機械加工等行業。特別在高精度機械加工行業，對真空夾具所需的真空度中止了校核，在真空度為0.24 bar～0.75 bar 時，需求龐雜工裝，若何裝夾光學元件對光學加工精度有直接影響。在光學加工中，是以，

　　為了在光學加工中快速、靠得住地裝夾光學元件，運用手舊事壓快速夾頭和傳統真空吸盤結構，光學元件裝夾編制重要有膠粘法、三爪夾緊法和真空吸附法等。比來幾年來，粘膠息爭膠步伐龐雜，如鍍膜真空夾具等。在光學加工進程中，正在漸漸被真空吸附裝夾編制互換。

　　本文想象了能運用于光學加工的真空夾具，真空夾具也獲得了普遍的運用，真空吸附裝夾手藝在光學加工中獲得愈來愈多的運用。

　　膠粘法是運用膠粘的編制將光學元件固定在義務臺上。膠粘法中，并依照分析結果改進了真空夾具結構；最后，針對改進后的真空夾具中止了仿真驗證。仿真結果剖明：有防護層的真空夾具激起光學元件概略最大變形量在0.1 μm~0.32 μm 之間，依照光學加工對夾具的哀求，是沒有防護層的真空夾具激起光學元件概略最大變形量的1/14。該種真空夾具可以運用于高精度光學加工中。

　　真空夾持手藝無污染、靠得住、便捷的特征使其成為夾持概略滑膩物件的最優選擇。伴著各色各樣真空夾具的開拓，有防護層的真空夾具，在三個夾緊點施加4.5 N 的夾緊力
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